Programme

lundi 28 novembre 2022

Heures événement (+)
08:00 - 08:30 Ecole Micro-Nanotechnologie Jour 1
Café bienvenue
 
08:30 - 09:20 Lithographie I (lithographie UV, écriture directe, masques) (Amphi JJ Gagnepain, FEMTO-ST) - Guillaume Jutzi, FEMTO-ST  
09:20 - 10:10 Lithographie II (lithographie à deux photons): MPO 100, a multi-user tool for 3D lithography and 3D microprinting (Amphi JJ Gagnepain, FEMTO-ST) - S. Kohlhaas, Heidelberg Instruments / Multiphoton Optics  
10:10 - 10:30 Pause café  
10:30 - 11:20 Gravure humide et RIE (Amphi JJ Gagnepain, FEMTO-ST) - Djaffar Belharet, FEMTO-ST  
11:20 - 12:10 Micro-structuration de verre (gravure humide et sèche, procédé laser femto seconde direct et assisté par gravure humide, micromoulage) (Amphi JJ Gagnepain, FEMTO-ST) - Sylwester Bargiel, FEMTO-ST  
12:10 - 13:30 Déjeuner  
13:30 - 14:00 Introduction salle blanche (Amphi JJ Gagnepain, FEMTO-ST) - Samuel Queste, FEMTO-ST  
14:00 - 16:00 Atelier I (Cleanroom MIMENTO)  
16:00 - 18:00 Atelier II (Cleanroom MIMENTO)  

mardi 29 novembre 2022

Heures événement (+)
08:00 - 08:30 Ecole de Micro-nanotechnologie Jour 2
Café
 
08:30 - 09:20 Polissage et qualité de surface (Amphi JJ Gagnepain, FEMTO-ST) - V. Menard, CImap ENSICaen  
09:20 - 10:10 Wafer bonding (activation de surface, collage moléculaire, anodique, thermo-compression) (Amphi JJ Gagnepain, FEMTO-ST) - Samuel Charlot, LAAS  
10:10 - 10:30 Pause café  
10:30 - 11:20 Croissance des couches minces (adhésion, cristallisation, contrôle d'orientation et taille des grains, contraintes) (Amphi JJ Gagnepain, FEMTO-ST) - Ausrine Bartasyte, FEMTO-ST  
11:20 - 12:10 Caractérisation des propriétés électriques DC (transport, résistivité, instrumentation, contact ohmique) et optiques (Amphi JJ Gagnepain, FEMTO-ST) - Samuel Margueron, FEMTO-ST  
12:10 - 13:30 Déjeuner  
13:30 - 14:00 (En option) Ellipsométrie (niveau avancé) (Amphi JJ Gagnepain, FEMTO-ST) - Samuel Margueron, FEMTO-ST  
14:00 - 16:00 Atelier III (Cleanroom MIMENTO)  
16:00 - 18:00 Atelier IV (Cleanroom MIMENTO)  

mercredi 30 novembre 2022

Heures événement (+)
08:00 - 08:45 JNTE Jour 1
Accueil - Enregistrement
(Hall, ENSMM)
 
08:45 - 09:00 Ouverture (Amphi E Chatelet, ENSMM) - P. Vairac (SUPMICROTECH) / J.-L. Leclercq (INL) / A. Bartasyte (FEMTO-ST)  
09:00 - 09:30 Les programmes nationaux autour des nanotechnologies au CNRS (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Isabelle Sagnes - INSIS CNRS  
09:30 - 10:15 Keynote Talk: 3D laser micro and nanoprinting (Amphi E Chatelet, ENSMM) - M. Wegener - KIT  
10:15 - 10:35 Pause café (Hall, ENSMM)  
10:35 - 11:05 Plasmonic microcapsules for strain detection (visio) (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Remi Dreyfus - LN2  
11:05 - 11:35 Self-assembly of DNA origamis for nanolithographic applications (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Nicolas Triomphe - CBS  
11:35 - 12:30 Session Flash Poster (Amphi E Chatelet, ENSMM)  
12:30 - 14:00 Déjeuner (Hall, ENSMM)  
14:00 - 14:30 Fabrication of titanium MEMS (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Gwenaël Bécan - MISTIC Technologies  
14:30 - 15:00 How can nature help us find mechanical solutions ? (visio) (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Jean-Marc Linares - ISM  
15:00 - 15:30 Biomimetic organs-on-chip (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Caterina Tomba - INL  
15:30 - 16:00 Pause café (Hall, ENSMM)  
16:00 - 16:30 Microfluidic technologies for diagnostic applications (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Karla Perez Toralla - CEA Saclay  
16:30 - 17:30 Session exposant (Amphi E Chatelet, ENSMM)  
17:30 - 19:00 Session Poster / Dégustation de produits locaux (Fromage/vin) (Hall, ENSMM)  

jeudi 1 décembre 2022

Heures événement (+)
08:00 - 08:30 JNTE Jour 2
Accueil
(Hall, ENSMM)
 
08:30 - 09:00 Réseaux Plateformes, EuroNanoLab et Renatech-projets (Amphi E Chatelet, ENSMM) - M. de Labachelerie, B. Lecha  
09:00 - 09:30 Filière Niobate de lithium en couches minces en France (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Florent Doutre - INPHYNI  
09:30 - 09:45 Johnny Moughames - FEMTO-ST (Amphi E Chatelet, ENSMM) - 3D Graytone Printing for Thermo-Mechanical and Optical Applications  
09:45 - 10:00 Thierry Grosjean - FEMTO-ST (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Fabrication of sub-micron 3D helical antennas by FIB induced deposition and GLAD for subwavelength polarization optics  
10:00 - 10:30 Pause café (Hall, ENSMM)  
10:30 - 11:00 Growth of crystalline III-V thin films using low-temperature plasma (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Karim Ouaras - LPCIM  
11:00 - 11:30 Dépôts de couches céramiques par projection thermique: procédés et applications (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Vincent Rat - IRCER  
11:30 - 11:45 Victor Vallejo-Otero - Laboratoire Hubert Curien (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Nouveau procédé de micro-nanostructuration de couches de nitrure de titane (TiN) par la combinaison d'un sol-gel d'oxide de titane (TiO2) et d'un recuit rapide thermique (RTA)  
11:45 - 12:00 Hamza Kellou (visio) - LPCM/LPCMC (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Bismuth three oxyde Nanopowder to inhibit and photostabilize 2-Aminophenol  
12:00 - 12:30 Matériaux 1D-2D par la méthode de dépôt LEGO (visio) (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Paolo Bondavali - TRT  
12:30 - 14:00 Déjeuner (Hall, ENSMM)  
14:00 - 14:30 The femtosecond laser at the service of society (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Julien Granier - EIG Manutech USD  
14:30 - 15:00 NEW French Nano-Imprint Lithography NETWORK and ressources (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Céline Chevalier - INL - Renatech+  
15:00 - 15:15 Olha Sysova - IS2M (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Water-soluble resist for deep-UV (193nm) photolithography based on a chitosan bio-polymer  
15:15 - 15:30 Amani Ouirimi - LPL (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Mixed-order distributed feed-back organic diode laser cavities: from the design to the characterization  
15:30 - 16:00 Pause café (Hall, ENSMM)  
16:00 - 16:30 In-situ device fabrication in Molecular Beam Epitaxy Cluster (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Xin Guan - TUE  
16:30 - 16:45 Sylwester Bargiel - FEMTO-ST (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Femtosecond laser irradiation followed by chemical etching - Versatile method for fabrication of innovative 3D structures in glass materials  
16:45 - 17:00 Feriel Laourine - GREMI (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Stainless steel patterning at micrometric scale with ICP chlorinated plasma: Process optimization and understanding of etching mechanisms  
17:00 - 17:15 Jean-Yves Rauch - FEMTO-ST (Hall, ENSMM) - Polyarticulated, light-activated structures made from origami of silica membranes, installed at the end of optical fibres  
17:15 - 17:30 Sébastien Thibaud - SUPMICROTECH-ENSMM (Amphi E Chatelet, ENSMM) - De la micromécanique horlogère aux composants miniaturisés flexibles  
17:30 - 18:30 Départ Musée du Temps / Repas de Gala (Centre Diocésain Pierre de Grammont)  

vendredi 2 décembre 2022

Heures événement (+)
08:00 - 08:30 JNTE Jour 3
Accueil
(Hall, ENSMM)
 
08:30 - 09:00 The potential of 3D Plastronics: from packaging to ecofriendly innovative systems (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Philippe Lombard - Ampere  
09:00 - 09:30 Heterogeneous integration on silicon nitride for integrated photonics: lasers and nonlinear materials (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Maximilien Billet - Ghent University  
09:30 - 09:45 (supprimé) Frédéric Zamkotsian - LAM (Amphi E Chatelet, ENSMM) - MOEMS for space applications: Micromirror arrays for Universe and Earth Observation  
09:45 - 10:00 Jules Duraz - C2N (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Fabrication and characterization techniques to study flexible micro light-emitting diodes with a millimetric radius of curvature  
10:00 - 10:30 Pause café (Hall, ENSMM)  
10:30 - 11:00 Flexiboard: CMOS-MEMS chiplet integration with soft materials towards autonomous programmable matter (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Yoshio Mita - UTokyo, LIMMS  
11:00 - 11:30 (supprimé) Nanofabrication of topological insulators (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Sébastien Plissard - LAAS  
11:30 - 11:45 Anne-Claire Eiler - UTokyo (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Design and fabrication of an SOI-CMOS large-scale integrated circuit for bioelectrochemical sensing  
11:45 - 12:00 Alain Bosseboeuf - C2N (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Activation and gas sorption of Y-based getter films for wafer-level vacuum packaging of microsensors  
12:00 - 12:30 2D materials by chemical vapor deposition: from coupons to large area depositions (Amphi E Chatelet, ENSMM) - Vincent Astié - Annealsys  
12:30 - 12:45 Conclusions (Amphi E Chatelet, ENSMM)  
12:45 - 14:00 Déjeuner (Hall, ENSMM)  
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