Merci à tous les participants, aux orateurs et aux industriels pour ces journées qui, malgré les frimas bisontins, ont permis d'avoir une édition pleine de convivialité et qui ont sû nous montrer, après 2 années de pandémie, le dynamisme de la recherche dans notre domaine des micro-nanotechnologies !

Pour cultiver un peu la nostalgie du moment, n'hésitez pas à aller (sous le menu JNTE 2022) jeter un oeil sur les galeries de photos prises pendant ces journées - et oui, ce qui se passe à Besançon, ne reste pas nécéssairement à Besançon :-)

Durant ces journées, la soirée de gala a été l'occasion de remettre différents prix à des personnalités marquantes des micro-nanotechnologies au nom de la Société Française des Microtechniques et de Chronométrie (SFMC)... mais aussi de  s'occuper de la génération qui monte et de remettre le prix du meilleur poster des JNTE 2022 !

Ainsi, le prix du meilleur poster des JNTE 2022 a été décerné à Mme Paule Durin, doctorante à l'INL de Lyon, pour son poster intitulé "Interactions of water-soluble bio-sourced resist with fluorine etching plasmas during photopatterning process" - un sujet choisi tout particulièrment pour son lien fort avec les considérations environnementales qui doivent, en micro-nanotechnologie aussi, être prise en compte.

LA SFMC a profité de cette occasion pour remettre son Prix annuel et des diplomes d'honneur à des personnalités plus expérimentées ayant contribuées à la filière française des microtechniques.

Tout d'abord, le Prof. Sébastien Thibaud (au centre) a reçu le prix 2022 de la SFMC pour sa contribution au développement de la filière française des microtechniques et tout particulièrment pour ses travaux en lien avec l'horlogerie.

Dr Christophe Gorecki (2e gauche) a reçu un diplôme d'honneur de la SFMC pour sa contribution au développement des MEMS, et tout particulièrment ses travaux sur les MOEMS, au cours de sa carrière au CNRS, passée en grande partie à l'institut FEMTO-ST, mais aussi au LIMMS, Japon.

Dr Alain Bosseboeuf (en visio au centre :-) a reçu aussi un diplôme d'honneur de la SFMC pour sa contribution au développement de la filière française des MEMS, avec une mention particulière sur ses efforts pour leur caractérisation, au cours de sa carrière au CNRS passé en grande partie à l'IEF et maintenant au C2N.

Et maintenant, préparons nous à nous retrouver tous dans 2 ans (dans l'ouest ou le sud ? C'est encore à discuter !) et d'ici là, retournons sur nos machines pour réaliser encore plus de microtrucs et nanobidules à couper le souffle !

Merci encore et à bientôt !

Ces journées scientifiques seront focalisées sur les technologies émergentes en micro-nanofabrication, des fondamentaux jusqu'aux techniques complexes d'intégration. Cela représente une opportunité unique :

• de rassembler la communauté scientifique impliquée dans les micro-nanotechnologies, le génie des procédés, la physique et la modélisation des processus de fabrication
• d’améliorer la diffusion des résultats et des idées parmi les principaux acteurs, afin de rendre les nouveaux concepts de fabrication bénéfiques pour les autres disciplines
• de créer une continuité d'expertise depuis les études fondamentales sur les matériaux, les nouvelles techniques de traitement ou la modélisation jusqu'à la recherche appliquée en génie des procédés (intégration de technologies, développement de nouveaux micro-nano-dispositifs...)
• de renforcer les interactions entre les principaux acteurs de l’intégration des micro-nanotechnologies (plates-formes nationales ou de technologie de proximité…), et entre ces acteurs et la communauté scientifique impliquée dans le développement de techniques de traitement spécifiques ou d’outils de caractérisation à un stade plus fondamental.

CONFERENCE JNTE (30/11 au 02/12)

Les thématiques abordées sont :

• Synthèse, intégration et assemblage de nouveaux matériaux
  
• Fonctionnalisation et traitement de surface
  
• Gravure, lithographie et nano-structuration
• Intégration et applications des micro-nanotechnologies.

Une attention plus particulière sera donnée aux matériaux, techniques et procédés ‘éco-efficients’ (green technology concept) afin de montrer que notre communauté peut mettre en place des stratégies de développements en lien étroit avec les nouveaux enjeux sociétaux.

Conférence plénière et présentations invitées

Nous avons invité le Prof Martin Wegener du KIT pour une présentation plénière de 45 minutes ainsi que plus de 10 invités prestigieux pour des présentations approfondies de 30 minutes sur des sujets récents.

Précédentes éditions

Les JNTE 2022 sont la septième édition de la conférence, après les JNTE'19 qui se sont déroulées à Grenoble, JNTE'17 à Orléans, JNTE'15 à l'Ecole Centrale de Lyon, JNTE'13 à Evian, JNTE'10 à l'Ecole Polytechnique de Palaiseau et JNTE'08 au LAAS-CNRS à Toulouse.

Avant le colloque JNTE, l'école de microtechnologie "Micro- et nano-structuration" (2 jours, cours et travaux pratiques en salle blanche données par les ingénieurs et chercheurs experts dans le domaine) pour techniciens, ingénieurs, doctorants, chercheurs et enseignants-chercheurs sera organisée pour mettre en oeuvre des connaissances en chimie, science des matériaux, microtechnologies et physique pour les futurs développements des composants (approche pluridisciplinaire) et donner une vue globale sur les différentes méthodes d’intégration et de micronanostructuration, leurs avantages et inconvénients à travers des ateliers et cours.

PROGRAMME de l'ECOLE

• 9h cours (principes des différentes méthodes d’intégration et micro- et nanostructuration, réflexions et échanges entre les participants et intervenants) :
   
  • Introduction salle blanche
  • Lithographie I (lithographie UV, écriture directe, masques)
  • Lithographie II (lithographie à deux photons)
  • Gravure humide et RIE
  • Micro-structuration de verre (gravure humide et sèche, procédé laser femto seconde direct et assisté par gravure humide, micromoulage)
  • Polissage et qualité de surface
  • Wafer bonding (activation de surface, collage moléculaire, anodique, thermo-compression)
  • Croissance des couches minces (adhésion, cristallisation, contrôle d'orientation et taille des grains, contraintes)
  • Caractérisation des propriétés électriques DC (transport, résistivité, instrumentation, contact ohmique) et optiques
  • (En option) Ellipsométrie (niveau avancé)
     
• 8h de démonstrations-ateliers en sous-groupes se feront en salle blanche, dans la plateforme de micro-nano-technologie MIMENTO (réseau Renatech) de l'Institut FEMTO-ST: les participants pourront choisir quatre démonstrations (2h/atelier) parmi les six proposées (3 personnes maximum par atelier pour l’efficacité de la formation, la pratique et les échanges) :

1. 1. Lithographie / Ecriture directe
   2. Microfabrication par lithographie à deux photons (Nanoscribe)
   3. Structuration par RIE/DRIE
   4. Croissance de couches minces par CVD/PVD et contraintes
   5. Wafer bonding et structuration verre par laser femto seconde assisté par gravure humide (FEMTO-print)
   6. Imagerie-Ellipsométrie